中文名称:四氟化钛
中文别名:头孢呋辛酸
CAS No:7783-63-3
EINECS号：232-017-6
分子式:F4Ti
沸点:284oC
密度:2.798
外观白色粉末
用途:用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积，以制作低电阻、高熔点的互连线。;
安全说明:S26;S36/37/39;S45
危险品运输编号：UN 3260